Go-Tech事業
補助事業
採択 | 終了 | 分野 | 事業名 | 補助金区分 |
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R4 | R6予定 | 複合・新機能材料 | パワー半導体の高密度実装に対応した高放熱セラミックス基板の開発 | 出資獲得枠 |
R5 | R7予定 | 材料製造プロセス | 産業廃棄プラスチックの地産地消を実現するケミカルリサイクル装置の開発 | 通常枠 |
R6 | R7予定 | 機械制御に関わる技術 | 階層型コンピューティング技術による革新的なロボット用コンピュータ・システムの開発 | 通常枠 |
R6 | R8予定 | 表面処理 | Nebulaプラズマを用いた低環境負荷な半導体用基板洗浄装置の研究開発 | 通常枠 |